美國Brooks布魯克斯金屬密封壓力控制器

產品特點

- 高精度控制：壓力控制精度高，壓力讀數精度為±1% of reading，壓力控制精度為±0.2% of f.s.（<10% f.s.）；±1% of reading（>10% to 100% f.s.）。

- 快速響應：響應時間小于1秒（不包括系統時間常數），能快速對壓力變化做出反應，實現精準控制。

- 全金屬流路：采用全金屬密封流路，表面光潔度達5µinch Ra，材質符合SEMI F20 HP標準，包括316L VIM/ VAR、哈氏合金C - 22等，可確保無顆粒、水分和污染，適用于高純度要求的工藝。

- 多氣體/多量程：部分型號支持多氣體/多量程功能，可存儲和預編程多達10種氣體校準和量程，減少庫存并提高設備通用性。

- 通信與診斷功能：具備數字通信功能，支持DeviceNet™、RS485 L - protocol等通信協議，方便與其他設備集成和遠程控制。同時具有獨立的診斷/服務端口，便于設備評估、故障排除和維護。

產品規格

- 流量范圍：PC115的流量范圍為20sccm - 5slm（僅N?和H?），PC125的流量范圍為10slm（僅N?和H?）。

- 壓力范圍：傳感器壓力范圍為1000托（fs），壓力控制范圍大于2%至100%。

- 工作溫度：溫度范圍為10 - 50°C。

- 泄漏完整性：外部泄漏率最大為1×10?1?atm scc/sec（氦氣）。

應用領域

主要應用于半導體優良蝕刻工具、薄膜化學氣相沉積系統（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）、物理氣相沉積（PVD）系統等對壓力控制精度和純度要求高的領域

美國Brooks布魯克斯金屬密封壓力控制器

日常維護

- 外觀與連接檢查：檢查控制器外殼有無損傷、腐蝕，金屬密封處有無磨損、變形，確保無泄漏。查看各連接部位，包括管道和電氣連接，保證連接牢固，無松動、滲漏。

- 運行狀態監測：留意控制器的運行聲音，若有異常噪音，可能表示內部有部件故障。觀察壓力顯示值是否穩定，若出現波動或異常，需及時排查原因。

定期維護

- 清潔處理：定期打開外殼，用干凈軟布擦拭內部電子元件、電路板上的灰塵。對于金屬密封部件，可用溫和的清潔劑去除油污、雜質，再用清水沖洗并擦干，避免使用腐蝕性清潔劑。

- 性能校準：每年或按使用情況縮短校準周期，使用高精度標準壓力源和測量設備校準，在全量程多點校準并記錄數據，偏差超范圍時，需專業人員調整或送修。

- 部件檢查：查看內部電子元件有無過熱、燒焦、電容鼓包等損壞跡象，及時更換損壞元件。檢查金屬密封的閥芯、閥座等部件，有磨損、損壞時，應修復或更換原廠配件。

環境維護

- 工作環境監測：確?？刂破髟谝幎ǖ臏囟?、濕度范圍內工作，避免在高溫、潮濕、有腐蝕性氣體的環境中使用，遠離振動源和強磁場。

- 安裝位置檢查：定期檢查安裝位置是否正確、牢固，防止管道應力傳遞到控制器上，若管道有振動或位移，應及時調整固定。

記錄與文檔管理

建立詳細的維護記錄檔案，記錄維護時間、內容、校準數據、更換部件等信息，以便分析運行狀況，為維修、校準和設備更新提供參考